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　　光罩开盒器 DeskTop Reticle SMIF Pod Opener-POM 150R

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　　光罩开盒器 DeskTp Reticle SMIF Pod Opener-POM 200R

　　Fortrend POM-200R是一款自动的SMIFpod，设计用于打开200mm单个和多个光罩SMIFpod。当pod盖子被打开后，光罩片仍在pod table上，操作人员可以安全地操作。POM是专为tabletop应用而设计的全电动系统，可快速安装和拆卸。一种可选的专利基片测绘技术，能在基片处理过程中防止破损。带有操作联锁的rsticle突出传感器，防止pod关闭在突出的基片上。pod传感器检测SMIFpod的存在，防止错误地影响设备和fab之间的气流。

　　光罩开盒器 DeskTop Reticle SMIF Pod Opener -PLM 200R

　　Fortrend POM-150R是一款自动的SMIFpod，设计用于打开150mm单个和多个光罩SMIFpod。当pod盖子被打开后，光罩片仍在pod table上，操作人员可以安全地操作。POM是专为tabletop应用而设计的全电动系统半导体，可快速安装和拆卸。一种可选的专利基片测绘技术，能在基片处理过程中防止破损。带有操作联锁的rsticle突出传感器，防止pod关闭在突出的基片上。pod传感器检测SMIFpod的存在，防止错误地影响设备和fab之间的气流。

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