b体育TEM(Transmission Electron Microscope， 透射电子显微镜) 具有较高的分辨率是半导体失效分析领域最常用的仪器之一，其以高能电子束作为光源，用电磁场作透镜，将经过加速和聚集的电子束投射到非常薄的样品上，电子和样品中的原子因碰撞改变方向，从而产生立体角散射。散射角的大小与样品的密度、厚度相关，因此可以形成明暗不同的影像。TEM的一个突出优点是具有较高的分辨率半导体，可观测极薄薄膜的形貌及尺寸。

　　（1）材料范围：除磁性材料之外的任何无机材料，包括粉体b体育、薄膜和块材；不适用于有机和生物材料。

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