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长电路知识鑫存储申请半导体结构专利能够提高半导体结构整体的电学性能b体育

作者:小编    发布时间:2023-12-19 15:45:22    浏览量:

  专利摘要显示,本公开实施例公开了一种半导体结构及其制造方法,半导体结构包括:基底、第一栅极结构半导体、第二栅极结构和覆盖层。基底包括分立的半导体通道,半导体通道设置于基底的顶部且沿竖直方向延伸。第一栅极结构设置于半导体通道的第一区域且环绕半导体通道。第二栅极结构设置于半导体通道的第二b体育区域电路知识,包括环结构和至少一个桥结构,其中,环结构环绕半导体通道b体育,至少一个桥结构贯穿半导体通道,且沿贯穿方向延伸至环结构的内壁b体育。覆盖层位于相邻的半导体通道之间的间隔区域。覆盖层包括沿竖直方向延伸的第一连通孔,半导体通道的顶部以及靠近顶部的部分侧壁被第一连通孔暴露。本公开实施例能够提高半导体结构整体的电学性能。

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