专利摘要显示,本公开实施例涉及半导体领域半导体,提供一种半导体结构及其制作方法b体育,其中,半导体结构的制作方法包括:提供基底;在基底上形成沿第一方向和第二方向阵列排布的多个半导体通道;形成沿第一方向延伸的多条位线,位线基底内,且每一位线与沿第一方向排布的多个半导体通道电连接;形成沿第二方向延伸的多条字线半导体,每一字线包绕沿第二方向排布的多个半导体通道的部分侧面,其中b体育,在沿第一方向上,相邻的两条字线在垂直于基底表面的方向上间隔排布;形成侧壁导电层,侧壁导电层位于相邻的两条字线之一的上方,且侧壁导电层与相邻的两条字线之另一同层设置。该半导体结构可以降低相邻字线之间的耦合效应。
Copyright © 2012-2023 b体育·(中国)官方网站 版权所有 网站地图