路维光电：计划通过间接投资的方式进一步投资130nm-28nm制程节点的半导体掩膜版产线

　　金融界9月21日消息，路维光电披露投资者关系活动记录表显示b体育，公司计划通过间接投资的方式进一步投资130nm-28nm制程节点的半导体掩膜版产线，该项目预计总投资人民币20亿元，由路芯半导体作为项目投资单位建设。公司已实现180nm及以上制程节点半导体掩膜版量产，满足先进半导体芯片封装、半导体器件、先进指纹模组封装、高精度蓝宝石衬底（PSS）等产品应用。在半导体领域半导体，公司的主要客户包括国内某些领先芯片公司及其配套供应商晶方科技b体育、华天科技、通富微电、三安光电等。公司积极探索掩膜版上游材料领域，对光阻材料特性进行深入研究，分别于2016年、2018年自主开发了中小尺寸和大尺寸掩膜版光阻涂布技术，实现了国内掩膜版行业在高精度、大尺寸光阻涂布技术上零的突破及对产业链上游技术的成功延伸电路板。

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