半导体洁净车间同时也被称为无尘室，该环境的优劣不仅影响产品良品率，还影响车间能耗。英格尔检测为了满足企业需求，对洁净室内空气质量进行了深入研究。英格尔专家解释，洁净室分级是由每个单位体积所含大小与颗粒物浓度来评判，与之对应相匹配的空气过滤系统。需要注意的是洁净室空气颗粒物与前驱物将受到实时监控，达到百分之百洁净度的ISO等级需要。

　　英格尔检测：一般有人员相关(比如呼出气体)、通风系统效能、车间内材料逸出、清洁溶剂使用、工艺或设备原材料泄漏等等。即便在最高等级的洁净室环境内，Vocus CI-TOF质谱仪也检出很多种物种。

　　英格尔检测：洁净室内对晶圆良率影响最大的材料逸出源头，也是与晶圆相处时间最长的部分，是负责晶圆在不同厂区位置间运输和制程间存储的前开式晶圆传送盒，简称FOUP电路知识。现代半导体制程中，晶圆除了在不同原理的设备内部被加工之外b体育，在厂区内的其余时间都在FOUP内度过。

　　同一批晶圆在产线上都有着专属的FOUP，不太可能出现FOUP交叉污染，但也不排除出现FOUP-晶圆-设备-下批晶圆-对应FOUP的可能性。因为材料逸出的慢属性，也意味着晶圆在污染FOUP内部时间越长，受到污染的可能性和程度都会相应提高。

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　　英格尔检测之前利用Vocus CI-TOF，对FOUP内的残余的MA和MB物质进行了长时间不间断的跟踪测量。英格尔检测结果表明，在连续冲洗10小时之后，FOUP内仍有痕量pptV浓度的酸类物质检出，这也充分证明了酸类物质的去除难度极大，以及Vocus CI-TOF在此类应用中的不可或缺性。

　　由此可见Vocus CI-TOF集中于FOUP清洗站中，可提供各个FOUP清洗状态，根据情况进行相应的参数调整。英格尔AMC检测系统，可针对半导体产品环境的不同为企业提供灵敏度高b体育、精准度强、实时AMCs等一站式解决方案。英格尔半导体检测实验室，拥有行业专业仪器，可改善行业痛点、提升产品良品率半导体、进行实时排查与案例分析与总结等多种需求，帮企业获得高回报比。