第 37 卷第 4 期 2007 年 8 月 微 电 子 学 r oel ectroni cs V o1．32’ ，N o．4 A ug ．2007 ·综 闭 评 述 · 集成 电途身手孕育动态 王 红 (中国电子科技集体公司，北京 100846) 摘 要 ： 比年来，许 多文献对微 电子本事或集成电途 的滋长动 态进 行 了报叙 ，对 集成 电讲 的市集 需要、本领恳求及操纵前景举办 了阐述 。紧要侧沉于手艺层面，对硅 集成 电途技 术( 收集数 字集成 电路和仿效集成电路) 涉及到的质料 、器件、工艺、电说等的生长动 态实行综述 。 枢纽词 ： 硅集成 电路 ；仿制集成 电道 ；数字集成 电路 ；微 电子器件 ；微 电子工艺 中图...